cf4是什么气体
姑娘有苦不流泪
2022-02-14 11:40:10

cf4是四氟化碳,是一种卤代烃。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。

四氟化碳的性质:沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74Mpa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5Mpa)1.0006。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。

四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻。

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2022-02-14 11:40:10