离子束辅助沉积技术(关于离子束辅助沉积技术简述)
凌鼎圣风
精选回答
1、离子束辅助沉积(lon Beam Assisted Deposition 或Ion Beam Enhanced Deposition,简称IBAD或IBED),是把离子束注入与气相沉积镀膜技术相结合的复合表面离子处理技术,也是离子束表面处理优化的新技术。
2、这种复合沉积技术是在离子注入材料表面改性过程中,使膜与基体在界面上由注入离子引发的级联碰撞造成混合,产生过渡层而牢固结合。
3、因此在沉积薄膜的同时,进行离子束轰击便应运而生。
4、因此它是离子束改性技术的重要发展,也是离子注入与镀膜技术相结合的表面复合离子处理新技术。
钢琴上黑白猫 2023-12-27 17:26:22
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