热扩散技术(关于热扩散技术简述)
红袖添香
精选回答
1、热扩散技术主要有替位式扩散和间隙式扩散两种。
2、杂质通过替位式扩散的扩散速度慢、需要的扩散温度高,但是可精确控制p-n结的深度和掺杂浓度;Si中硼、磷等杂质的扩散就属于替位式扩散。
3、杂质的间隙式扩散(如金在Si中的扩散)的扩散速度很快,扩散温度较低一些。
向往鹰的飞翔 2023-12-22 13:35:56
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