等离子刻蚀机(关于等离子刻蚀机简述)
冷月飘霜
精选回答
1、等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。
2、等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
3、某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
4、进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。
5、工件送入被真空泵抽空的反应室。
6、气体被导入并与等离子体进行交换。
7、等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。
8、等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。
9、近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式,这种设计的是富有弹性的,用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE),顺流等离子体(downstream),直接等离子体(direction plasma)。
几曲换得君一笑 2023-12-30 14:32:33
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