什么是光刻机?它用来做什么?
精选回答
山秀溪清 2023-11-02 15:10:39
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机,有用于封装的光刻机,还有用于LED制造领域的投影光刻机。
工作原理
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。
![](http://yyk.iask.sina.com.cn/pic/fimg/160992424834576974992.jpg)
相关推荐
投档会参考学考成绩吗 学考成绩有什么用
将成绩符合的学生的档案投给招生院校。这就是投档,投档不参考于学生的其他条件,只参考他的总成绩和志愿。而根据学校的调档比例省教育考试院确定他的投档比例,只要学生的档案被投档,决定他是否被录取的因素就会包含他的学考...
展开详情艺考生集训注意事项 有什么要了解知道的
艺术生集训不要忽略了文化课,作为艺术生必须要做到文化课和专业课双赢,才能被心中理想大学录取,在这期间需要付出很大的努力。文化课也是非常重要的,不要忽略文化课,要一直学习专业课。艺考生集训注意什么学会针对性强化技...
展开详情提高生物成绩的方法是什么 窍门有哪些
即通过分析教材,找出要点,将知识简化成有规律的几个字来帮助生物知识记忆。例如DNA的分子结构可简化为“五四三二一”,即五种基本元素、四种基本单位、每种基本单位有三种基本物质、很多基本单位形成两条脱氧核酸链、成为...
展开详情艺术生集训注意事项有哪些 需要注意什么
艺术生在集训的时候也要同步文化课学习,夯实文化基础。考生在专业课集训期间,文化课千万不要丢,专业课和文化课的学习一定要兼顾。艺术生集训的注意事项一定要选择一个靠谱的培训学校。因为一个好的培训学校,懂得怎么以最快...
展开详情艺术生什么时候集训好 有必要去集训吗
艺术生集训指的是艺术类学生在完成学业水平测试之后,由学校或自己向学校申请,暂时停掉学校的文化课,到专业的艺术培训学校进行封闭式训练,直到校考结束。美术生集训时间美术生集训,通常从高二下学期开始,5月份开始报名,...
展开详情