什么是电镜技术?
透射电子显微镜,简称透射电镜(TEM),是以波长极短的电子束作为照明源,用电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。被分析的样品必须制成电子能穿透的、厚度为10~200um的薄膜。其点分辨本领优于0.3~0.5um,晶格分辨本领可达0.1~0.2nm,放大倍数达数十万倍。超高分辨本领透射电镜还能直接显示固体晶格像,甚至可以观察重金属原子像。超高压电子显微镜,简称超高压电镜(HVEM),是又一种TEM,它的加速电压为1000kV,等于常用的TEM加速电压的10倍,从而成为重要的显微分析手段。扫描电子显微镜,简称扫描电镜(SEM),它的成像原理与TEM不同,是以类似电视摄像显像的方式,用细聚焦电子束在样品表面激发出次级电子,经探测器收集后成为信号,再调制扫描成像。SEM具有样品制备简单、放大倍数连续调节范围大、景深大、分辨本领比较高等特点,是进行样品表面显微分析研究的有效工具。扫描透射电子显微镜,简称扫描透射电镜(STEM),成像方式与扫描电镜相似,不过接收的不是次级电子而是透射电子(包括部分小角度散射电子),样品也必须是薄膜。利用这种STEM已观察到轻元素支持膜上的单个重原子,特别是利用它的微小电子束斑作极微区(几十埃)的晶体结构分析和成分分析。