生产工艺是什么(生产工艺)
行者无疆
精选回答
1、1)石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅, 其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑ (2)为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。
2、把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。
3、 其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 反应温度为300度,该反应是放热的。
4、同时形成气态混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。
5、 (3)第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解:过滤硅粉,冷凝SiНС13,SiC14,而气态Н2,НС1返回到反应中或排放到大气中。
6、然后分解冷凝物SiНС13,SiC14,净化三氯氢硅(多级精馏)。
7、 (4)净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。
8、 其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。
9、 多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒(直径5-10毫米,长度1.5-2米,数量80根),在1050-1100度在棒上生长多晶硅,直径可达到150-200毫米。
10、 这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应,并生成多晶硅。
11、剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反应容器中分离。
12、这些混合物进行低温分离,或再利用,或返回到整个反应中。
13、气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的,从某种程度上决定了多晶硅的成本和该3工艺的竞争力。
不如笑着放手 2023-12-02 14:58:57
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