电子气体是哪些气体
浮云过影
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电子气体,多采用集中式供应,可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体。
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长。
一、什么是电子气体?
1、电子气体的含义:气体工业名词,半导体工业用的气体统称电子气体。
2、电子气体的分类:按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
二、电子气体应用列举
1、电子气体系统技术应用
在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
2、氨气在电子行业的应用
梦情夜星 2023-08-28 16:48:01
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